אפלייד מטיריאלס, המובילה העולמית בתחום פיתוח וייצור מערכות מתקדמות לתעשיית השבבים, חשפה היום את מערכת ה- Applied UVision® 5, מערכת חדשה ממשפחת ה- UVision המיועדת לצרכי בקרת איכות תהליכים לתעשיית השבבים. ה- 5 UVision מיועדת לעבודה בקווי ייצור המייצרים בתהליכים של 20 ננומטר (מיליונית המילימטר), הסטנדרט המשמש כיום יותר ויותר יצרנים מובילים בעולם.
מטרת המכונה היא לבצע סריקה של פרוסות הסיליקון המרכיבות את השבב בשלבים שונים של תהליך הייצור על מנת לוודא שהתהליך נקי מפגמים שיטתיים, שכמות הפגמים האקראיים נמוכה, ושהתהליך יציב ושיטתי על מנת לייצר שבבים בתנאים מחמירים של איכות. כל זאת על מנת להבטיח יכולות טכנולוגיות מתקדמות יותר ואמינות, תוך שמירה על עלויות ייצור נמוכות במגוון רחב של מוצרים טכנולוגיים.
עקרון העבודה של המכונה מבוסס על שני ערוצי גילוי הפועלים בו זמנית: הארת לייזר ואיסוף האור המוחזר (Brightfield – reflected) ואיסוף האור המפוזר (Greyfield –scattered) מפרוסת הסיליקון הנבדקת. שילוב הטכנולוגיות המתקדמות מאפשר איתור מספר כפול של פגמים קריטיים בהשוואה למערכות מהדור הקודם. הרגישות הייחודית ויוצאת הדופן מאפשרת ליצרני המוליכים למחצה להשיג שליטה איכותית יותר ויציבה יותר על ייצור הרכיבים הזעירים המאפיינים את תעשיית השבבים.